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一种多层嵌套反射镜位姿的支撑型精密调整装置专利下载

在现代光学系统中，高精度的反射镜位姿控制是实现高性能光学成像和测量的关键技术之一。为了满足复杂光学系统的应用需求，我们提出了一种名
2025年05月13日 19:12:31

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